一、氮化硅的物理性能
①热学性质：氮化硅属于高温难熔物质，抗高压蠕变能力强，不含粘结剂的反应烧结氮化硅负荷软化点可高达1800℃；
②热传导性能良好，20W/mK；
③热膨胀系数小；
④电绝缘性能好，介电系数小，抗击穿电压高。
二、氮化硅的化学性能：
①抗氧化性：800℃以下干燥气氛中不与氧发生反应；
②抗熔融金属腐蚀性：氮化硅对单质金属融液（除铜外）不浸润，不受腐蚀；
③抗酸碱盐腐蚀性：易溶于氢氟酸，与稀酸不起作用。
三、氮化硅的机械性能：
①高温强度好，1200℃高温强度与室温强度相比衰减不大，另外，它的高温蠕变率很低。这些都是由强共价键本质所决定的；
②硬度高，仅次于金刚石、立方BN、B4C等少数几种超硬材料；
③摩擦系数小，有自润滑性，与加油的金属表面相似。
